具体行政行为的无效、撤销和废止，是终止具体行政行为效力的重要原因。以下首先讨论具体行政行为效力的开始、停止和终止，然后讨论具体行政行为的无效、撤销和废止。
（一）具体行政行为的开始、停止和终止
具体行政行为效力的开始。符合具体行政行为的成立条件，不存在具体行政行为的无效因素，具体行政行为在理论上就可以开始发生法律效力。即使有关当事人对该具体行政行为不服或者有合法性疑问，在有权国家机关作出最终裁判或者停止执行的程序裁决以前，一般还是要遵守该具体行政行为。具体行政行为开始生效的时间，一般地说具体行政行为一经成立就可以立即生效。但是行政机关也可以安排某一事件发生后或者经过一段时间后才发生效力，这经常出现在附生效条件的具体行政行为中。
具体行政行为效力的停止。申请行政复议和提起行政诉讼会导致具体行政行为执行力的停止。我国行政诉讼法第44条规定了因为行政诉讼停止执行具体行政行为的三种情形，行政复议法第21条规定了因为申请行政复议停止具体行政行为执行的四种情形。
导致具体行政行为效力终止的原因，可以分为没有违法因素的和有违法因素的两类情形。没有违法因素的情形有：具体行政行为为其设定专属权益或者义务的自然人死亡，自然人放弃具体行政行为赋予的权益，具体行政行为为其设定专属义务的法人或者其他组织的不复存在；具体行政行为规定的法律义务已经履行完毕或者有关客观事实已经消失；新的立法规定取消已经实施的行政许可项目和其他行政管制项目，具体行政行为予以废止。有违法因素的情形主要有：无效的具体行政行为，
可撤销的具体行政行为。
根据具体行政行为违法的严重程度，可以将具体行政行为分为无效的和可撤销的两大类。明显和严重的违法的具体行政行为是无效的具体行政行为，从一开始就没有法律效力；普通违法的具体行政行为是当事人可以请求撤销的，或者行政机关承认可以予以撤回的具体行政行为。客观事实和立法变化导致的具体行政行为与现行法律的冲突，可以由行政机关予以废止。
（二）无效的具体行政行为
1、构成具体行政行为无效的条件。如果一个具体行政行为有严重和明显的法律缺陷，这种违法达到一个有正常理智的普通人的常识性理解都可以明显看出的程度，那么它就是无效的具体行政行为。这种无效行为的构成原则表明，如果具体行政行为有明显和严重的法律缺陷，那么应当首先考虑的是依法行政原则，对具体行政行为的确定力和行政法上的其他原则的考虑则处于次要地位。
无效具体行政行为可以表现为许多具体情形，不能做一次性穷尽列举。但是如果一个具体行政行为发生如下情形，就可以构成无效的理由：
（1）要求从事将构成犯罪的违法行为。例如，命令违法侵入公民住宅、发行非法出版物、捕杀珍稀濒危动物并达到违反刑事法律的程度。
（2）明显缺乏法律依据的。例如，许可当地企业制作、销售传播淫秽内容的光盘。
（3）明显缺乏事实根据的，或者要求从事客观上不可能实施的行为。例如，根据没有查证的材料给予一个无辜的公民以治安处罚。
2、具体行政行为无效的后果。在实体法上，无效的具体行政行为自发布之时就没有任何法律约束力，因此当事人不受它的拘束，其他国家机关和其他社会成员也可以不尊重它。当事人不履行它所规定的义务，不承担法律责任。
在程序法上，该具体行政行为致使其合法权益受到损害的公民、法人或者组织，可以在任何时候主张该具体行政行为无效，有权国家机关可在任何时候宣布该具体行政行为无效，因为无效行政行为不具有确定力。但是在实际生活中，受到无效具体行政行为影响的人，一般会请求国家有关机关进行认定并宣布其无效，以避免由于自己法律认识错误造成违法的风险。
在后果处理上，具体行政行为被确定无效后，原则上应当尽可能恢复到具体行政行为发布以前的状态。行政机关应当返还从当事人处取得的利益（例如罚没款物），取消要求当事人履行的所有义务，赔偿对当事人造成的损失。行政机关应当收回无效具体行政行为给予当事人的权益。如果此种收回给善意的当事人合法权益造成损害，行政机关应当予以赔偿。
（三）可撤销的具体行政行为
1、可撤销的具体行政行为的条件。构成可撤销具体行政行为的条件，主要是具体行政行为违法和明显不适当。违法是指具体行政行为合法要件的缺乏。合法要件主要是指下面将要提到的事实证据、法律适用和法定程序等具体行政行为的一般合法条件，以及单行法律法规规定的特定合法条件。明显不适当是指具体行政行为的内容明显地不合理。
2、可撤销的具体行政行为的后果。在程序法上，可撤销的具体行政行为必须经过法定程序由国家有权机关作出撤销决定，才能否定其法律效力，有关当事人、其他国家机关和其他社会成员无权擅自否定具体行政行为的法律效力。法定程序是指行政复议、行政诉讼和行政监督程序。行政复议和行政诉讼是权利救济程序，必须经过当事人的申请和提起程序。行政复议机关以决定撤销违法的和明显不当的具体行政行为，法院可以撤销违法的具体行政行为，以此消除具体行政行为的法律效力。如果超过了行政复议的申请期限或者行政诉讼的提起期限，当事人就不能再在权利救济程序中对具体行政行为效力提出异议。行政监督是指行政系统中的法制监督，包括行政主管机关内部的监督，上级行政机关对下级行政机关的监督。在这些监督制度的运行中如果发现具体行政行为违法，行政机关也可以主动地撤销违法的具体行政行为，这称为具体行政行为的撤回。
在实体法上，具体行政行为被撤销的效力可以溯及至该具体行政行为成立之日。根据法律规定的公共利益需要或当事人是否存在过错等情况，也可以自撤销之日起失效。但当事人在撤销决定作出之前一直要受该具体行政行为的约束。
在处理后果上，具体行政行为因为被撤销而丧失或者不能取得法律效力后，如果相关义务已经履行或者已经执行的，能够恢复原状的应当恢复原状。被撤销的具体行政行为给当事人造成损失的，应当由行政机关承担赔偿责任。
（四）具体行政行为的废止
1、具体行政行为废止的条件。废止是行政机关依职权使具体行政行为丧失法律效力的行为。废止的理由和条件是由于客观条件的变化，具体行政行为没有继续保持其效力的必要。废止的条件中没有违法或者明显不适当的因素，是废止区别于无效和可撤销制度的主要方面。具体行政行为废止的条件通常有：
（1）具体行政行为所依据的法律、法规、规章、政策，已经为有权机关依法修改、废止或撤销。具体行政行为如果继续维持效力，将与法律、法规、规章、政策抵触，所以必须废止原具体行政行为。
（2）具体行政行为所根据的客观事实已经发生重大变化或者已经不复存在，具体行政行为的继续存在已经没有事实根据，需要废止原来的具体行政行为。
（3）具体行政行为所期望的法律效果已经实现，没有继续存在的必要。
2、行政行为废止的法律结果。被废止的具体行政行为，自废止之日起丧失效力。原则上，具体行政行为废止之前给予当事人的利益、好处不再收回；当事人也不能对已履行的义务要求补偿。如果废止使当事人的合法权益受到严重损失，或者带来严重的社会不公正，行政机关应当给予受到损失的当事人以必要的补偿。
